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1971年，安川电机开始发展机器人事业，他们认为自己应好好利用这个机会发展机器人事业。1972年，日本富士通公司将计算机控制部门独立出来，成立Fanuc，该部门此前致力于数控设备和伺服系统的研制和生产。位于德国奥格斯堡的KUKA Roboter Gmbh公司，于1973年研制开发出KUKA**台工业机器人。
1974年，安川电机日本首台电动弧焊机器人“MOTOMAN”亮相，打破了当时机器人必须是油压式的常规，因此，该款机器人成为了行业热点。但令人尴尬的是，这款产品的订单为零。究其原因，主要是价格昂贵、运行速度和马力比不上油压式机器人。
同年，成立于1883年的ABB公司研发了全球**台全电控式工业机器人IRB6，主要应用于工件的取放和物料的搬运。1975年，ABB生产出**台焊接机器人。
20c70s末，随着日本经济的增长，汽车、家用电器等的大规模生产和消费时代到来，要求机床和生产设备采用高可靠性的电机驱动，而不是人力，必须实现同等质量的大规模生产。在这样的背景下，安川电机结合此前提出的“机电一体化”概念，将电子与机械相结合，向机电一体化领域转移。经过约3年潜心研究，于1977年诞生出日本首台全电动型工业机器人MOTOMAN-L10。
MOTOMAN-L10允许批量生产同等质量水平的汽车，进入市场一个月后，收到了汽车零部件制造商的订单。可这仅仅只是开始，在经过长达11年的时间，也就是到1988年，安川电机机器人业务才实现扭亏为盈，MOTOMAN出货台数达1万台。1990年MOTOMAN（机器人）中心成立。
安川**数据显示，1993年AC伺服机器人累计出货量100万台，2002年AC伺服机器人累计出货量300万台，2003年MOTOMAN累计出货台数超过10万台，登上“世界**”的宝座。
2000年以后，安川电机开启了运动控制与机器人自动化‘总体解决方案提供商’之路，在2017年提出新产业自动化革命i3-Mechatronics概念，通过生产、销售和技术方面的改进，帮助解决客户管理问题。2018年启动新一代生产工厂，欲实现工业自动化革命。同年，收购西门子合资公司YSAD，加快自动化进程，进一步推动i3-Mechatronics概念。
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